據(jù)了解,超純水是半導(dǎo)體芯片制造過程中必不可少的,臺(tái)積電每天需要用到大量的超純水對(duì)晶圓表面進(jìn)行清潔。這種水內(nèi)部的有機(jī)物含量需要低于0.01ppm(百萬分之一)。說到這兒,對(duì)于超純水不了解的人一定很想知道什么是超純水?超純水該如何生產(chǎn)及應(yīng)用?它與我們經(jīng)常提到的純水有什么區(qū)別呢?接下來小編就一一為大家做解答。
我們要知道什么是超純水。
超純水(Ultrapure water)又稱UP水,是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過程。
那么,它與我們經(jīng)常提到的純水,高純水有什么區(qū)別呢?
純水是指水中的強(qiáng)電解質(zhì)和弱電解質(zhì)(如等)去除或降低到一定程序的水。其電導(dǎo)率一般為:1.0-0.1μs/cm,電阻率1.0-10.0×106Ω·cm。含鹽量<1mg/L。在試驗(yàn)中使用較多,又因是以蒸餾等方法制作,故又稱蒸餾水。市場(chǎng)上出售的太空水,蒸餾水均屬純凈水;但純水還是少喝為好,因?yàn)槔锩娌]有太多人體需要的礦物質(zhì)。
高純水指化學(xué)純度極高的水,其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高,所以一般應(yīng)用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水,要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級(jí)。總之,三種“純水”純度不一樣,用法也不同,沒有必要一較高下!
超純水該如何生產(chǎn)及應(yīng)用?
超純水設(shè)備采用獨(dú)有的靶向離子交換系統(tǒng)針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除同時(shí)還能連續(xù)、穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。超純水可以在以下領(lǐng)域使用 :
(1)電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
(2)化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
(3)單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
(4)高壓變電器的清洗等。
綜上所述,這就是為什么生產(chǎn)超純水如此重要,在芯片生產(chǎn)中更需要。萊特萊德可根據(jù)客戶需求量身定制工藝用水、清洗用水、循環(huán)用水等超純水處理解決方案。
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